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반도체장비
세메스는 핵심기술과 독자개발장비로 전세게 장비 시장을 선도해 나갑니다.

  

LOTUS
BLUEICE

LOTUS

1X급(19nm) 대응 차세대 매엽식 세정설비...

BLUEICE PRIME
BLUEICE

BLUEICE PRIME

S.LSI 공정에 최적화된 L1X급 대응 매엽식 세정/건조설비...

IRIS PRIME
IRIS

IRIS PRIME

IRIS와 BLUEICE PRIME의 장점을 접목한 2X급 세정설비입니다....

BLUEICE SPM
BLUEICE

BLUEICE SPM

300mm Wafer의 Post CMP Clean, PR Strip, Ashingless PR Strip, Metal 제거 공정에 대응 가능한 매엽식 세...

IRIS 12B
IRIS

IRIS 12B

300mm Wafer의 표면 및 이면 처리가 가능한 매엽식 세정설비로 다양한 공정에 대응 가능 합니다....

OMEGA K
OMEGA

OMEGA K

KrF Inline 공정 대응 차세대 Photo 설비...

OMEGA S
OMEGA

OMEGA S

H-SOH 공정 대응 차세대 Photo설비...

MICHELAN O2
MICHELAN O2

MICHELAN O2

HARC Etching 및 Via/Dama Etching용 CCP 타입 Plasma Etcher...

MICHELAN C3
MICHELAN C3

MICHELAN C3

WLP, SOH, DPT Etching용 ICP 타입 Plasma Etcher...

SW9000
Saw & Sorter

SW9000

PKG 단위 절단 후 검사 및 분류 진행 설비 ...

SW6000Plus
Saw & Sorter

SW6000Plus

PKG 단위 절단 후 검사 및 분류 진행 설비 ...

SEMPRO
Probe Station

SEMPRO

Wafer Chip 단위별 전기적 특성 검사 설비 ...

IP-300H
Probe Station

IP-300H

반도체 칩 안의 패드에 미세한 바늘을 접촉시킨 후 검사기의 전기적 신호로 칩의 상태(양호/불량)를 검사할...

SDB-3000MD Plus
Caste Bonder

SDB-3000MD Plus

Die를 Pick up하여 Substrate에 접합하는 설비...

TACHYON
Test Handler

TACHYON

Final Test와 연계하여 Device 등급별로 분류하는 설비...

STH-5700F
Test Handler

STH-5700F

Final Test 공정과 연계하여 Device 등급별로 분류하는 설비...

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충남 천안시 서북구 직산읍 4산단5길 77
TEL. 041-620-8000
FAX. 041-620-8008

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