반도체 장비업체인 세메스(대표 심상필)는 천안 본사에서 회사 임직원 및 협력사 대표 등 50여명이 참석한 가운데

반도체 검사장비 차세대 프로브 스테이션(설비명 SEMPRO) 양산 5,000호기 출하식을 가졌다고 8일 밝혔다.

세메스는 2003년 첫 양산 이래 2014년 1,000대, 2020년 2,000대 이후

2년마다 1,000대씩 증가하며 22년만에 5,000호기 출하를 달성했다.

프로브 스테이션(Probe Station)은 반도체 EDS(Electrical Die Sorting) 공정에서 웨이퍼에 형성된

각 칩(Die)들을 양품과 불량으로 선별하는 전기적 특성을 검사하기 위해 테스터와 연결되는 자동화 설비다.

세메스의 프로브 스테이션은 업계 최고 수준의 HBM 테스트 발열 제어 및 고하중 컨택 정밀도 향상을 기반으로

EDS 공정의 생산 효율화에 기여하고 있으며, 현재 무인 자동화 기능을 도입해

스마트 팩토리형 장비를 생산하고 있다고 회사측은 설명했다.

최병갑 팀장은“이번 5,000호기 출하는 장비의 품질과 신뢰성을 인정받은 결과”라며

“AI 및 HBM 같은 고성능 반도체의 수요증가로 반도체 웨이퍼 테스트 공정의 난이도가 높아지는 가운데

HBM 테스트 분야에서도 경쟁사 대비 기술 우위를 확보하게 됐다”고 말했다.

이 설비는 2018년 세계 3대 디자인상으로 꼽히는 레드닷 산업디자인 컨셉 부문 최우수상인 베스트 오브 베스트 상을 받았다.